龙8国际头号玩家电镀工艺参数的控制对镀层性能的影响很大。现以氰化物电体系镀金药水为例,详细介绍电镀金工艺中需要控制的几个主要参数:
镀液温度高于40℃后,温度继续升高,镀层的粗糙度变化不是很明显,一般是在100nm左右。随着温度升高,镀层硬度将有所下降。
pH对镀层表面粗糙度的影响趋势为:随着pH逐渐升高,镀层表面粗糙度略有增加龙8国际头号玩家,但仍保持在100nm以下。
提高镀液中金的质量浓度,可提高电流密度范围,提高金的沉积速度。金的质量浓度提高,镀层的光亮度和均匀度都有改善。
随着镀液使用的时间逐渐延续,镀液的密度将越来越大,镀层的粗糙度也会越来越大。另外,镀金液由于金盐质量浓度低,需要大量的导电盐来支持电极过程的进行,导电盐的质量浓度可通过镀液的密度来反映。
电镀时的流量控制也很重要,因为流量的大小对镀层的性能会有影响,如果流量太小,则离子交换速度慢,镀层粗糙;若流量太大,金离子未来得及被还原就被带走,这样镀层会变得疏松。另外,如果使用的电镀设备是杯镀,在电镀过程中如果流量始终不变的话,那么停留在晶圆中间的气泡就会一直停留在那里,容易在镀层上形成凹孔。此时若突然改变流量,则气泡所受到的平衡力将被破坏,气泡的运动状态即可发生改变,这就是平时所讲的除泡过程。所以,杯镀设备在设计时,循环系统中采用变频器调节流量。挂镀的气泡则较容易去除。此外,镀金液应使用1μm以下的PP滤芯连续过滤。镀金液不建议使用空气搅拌。
添加剂能改善镀层的表面粗糙度,但添加时应逐步进行,总量最好不要超过5mL/L,因为添加剂的中无机成分,可能会影响金镀层的纯度,也会使镀层的硬度增大。
镀层厚度量测设备可以分为接触式和非接触式两种,接触式的量测有Profiler等仪器;非接触式的量测有X-ray和干涉显微镜。
由于边缘效应的影响,晶圆镀金层边缘厚,中间薄。一般半导体后道封装中的引线键合和焊接工艺对within-wafer(全片均匀性)的要求是小于10%。
影响镀层表面粗糙度的因素主要有:电流密度、温度、pH、密度、循环流量和添加剂质量浓度。镀层表面粗糙度应控制在100nm左右,粗糙度太大或太小对引线键合和焊接都会产生不良影响。因此,我们需要保证镀层有一定的粗糙度。
镀金工艺后,镀层硬度还可以通过退火来调节。退火之前镀层硬度大约在100HV左右,在退火条件为300℃保温30min后,镀层的硬度一般是在60HV左右。退火效果也受退火设备的影响。