龙8头号玩家同花顺300033)金融研究中心03月04日讯,有投资者向奥普光电002338)提问龙8国际头号玩家, 董秘,您好!2023年您回复超精尺才可以用于DUV和EUV光刻机,我想问问,DUV光刻机和EUV光刻机相差那么大龙8国际头号玩家,必须都用超精尺?难道高精尺精度可以达到2nm,为啥不能用于DUV光刻机?而且超精尺研发需要数年时间,要实现根本性国产替代那不是希望还很遥远?
公司回答表示,光栅尺是半导体设备的部件之一,其精度要求取决于整机的技术指标需求。我们会加强研发、努力攻关,满足整机厂家需求。感谢关注。