上已经使用接近9年时间,FinFET晶体管还将在未来几年继续扮演重要的角色。业界看好下一代环绕栅极晶体管(GA
外媒指出,尽管台积电和三星两大晶圆代工厂在7nm或5nm工艺节点上提供庞大的产能,但台积电(TSMC)、三星(SANSUNG)和英特尔Intel)正在努力攻克基于环绕栅极晶体管(GAA)技术的3nm和2nm工艺节点。
据了解,GAAFET可以带来更好的可扩展性、更快的开关时间、更优的驱动电流以及更低的泄露。只是工艺成熟的FinFET依然是半导体厂商关注的核心,包括台积电暂缓在5nm工艺上使用GAAFET,仍使用FinFET晶体管。但在台积电2020年研讨会上,其宣称N3技术可在提升50%性能的同时降低30%功耗,工艺密度是N5的1.7倍。
早前消息称,台积电计划在2024年前做好量产2nm制程的量产,前提是将借助久经考验的、更可预测的工艺节点,台积电有充足时间去检验GAA-FET在2nm节点下的应用前景。Semiconductor Engineering称三星和英特尔也在努力实现从3nm到2nm工艺节点的过渡,三星有望在2022年底前完成。TechSpot指出,GAAFET有诸多类型,目前已知的是三星将采用基于纳米片的多桥沟道场效应晶体管(简称MBC-FET)的方案。
三星的MBC-FET可视作FinFET的侧面翻转,特点是将栅极包括于衬底上生长的纳米硅片,而英特尔披露将于2025年采用基于“纳米丝带”(nanoribbons)的类似方案。在接替鲍勃·斯旺(Bob Swan)的新任CEO帕特·基辛格(Pat Gelsinger)的带领下,英特尔或许能够加速向新工艺的转进。
此外,在FinFET和GAAFET携手并进的同时,芯片制造商还可能动用锗(Ge)、锑化镓(GaSb)、砷化铟(AsIn)等具有高迁移率特性的半导体材料。
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