龙8头号玩家功率半导体公司排名半导体制造半导体制作工艺步骤南大光电申请半导体级超
栏目:公司新闻 发布时间:2024-02-21
 龙8头号玩家专利摘要显示,本发明提供了一种半导体级超高纯四氯化钛的提纯方法及提纯系统。所述提纯系统至少包括精馏塔,所述精馏塔中精馏柱从下到上依次包括不锈钢θ环填料工段、石英填料工段、铝丝编织θ环填料工段、石英填料工段,其中铝制工段与粗四氯化钛反应,生成三氯化钛,三氯化钛与难去除的杂质反应,提高杂质化合物沸点,大大提高了产物的纯度;所述提纯方法包括将原料粗四氯化钛经过所述提纯系统精馏得到半导体级

  龙8头号玩家专利摘要显示,本发明提供了一种半导体级超高纯四氯化钛的提纯方法及提纯系统。所述提纯系统至少包括精馏塔,所述精馏塔中精馏柱从下到上依次包括不锈钢θ环填料工段、石英填料工段、铝丝编织θ环填料工段、石英填料工段,其中铝制工段与粗四氯化钛反应,生成三氯化钛,三氯化钛与难去除的杂质反应,提高杂质化合物沸点,大大提高了产物的纯度;所述提纯方法包括将原料粗四氯化钛经过所述提纯系统精馏得到半导体级超高纯四氯化钛龙8头号玩家。本发明中经过各工段协同作用一次精馏得到半导体级超高纯四氯化钛,工艺简单龙8头号玩家,损耗少,易推广;产物纯度达到99.9999999%,能够满足集成电路的制作要求。